一、影响现实真空系统的因素——污染
污染当对真空室进行抽空时，真空室必须干净，以尽快达到所需压力。总结真空系统典型的污染物包括：
1.生产真空系统产生的残渣表面、螺丝钉和密封件上的油脂
2.与应用相关的污染物过程反应产物、灰尘和颗粒
3.环境相关的污染物冷凝蒸汽，特别是吸附在容器壁上的水分。
因此，在安装真空设备时有必要确保部件尽可能干净。真空室中安装的所有部件必须干净、无油脂。安装的所有密封件必须干燥。如果无法避免使用真空润滑脂，且根本是辅助安装而不是作为密封胶，必须非常谨慎地使用。如果将要产生高真空或超高真空，在装配过程中必须佩带干净、不掉毛、无粉手套。
二、影响现实真空系统的因素——冷凝和蒸发
冷凝和蒸发所有物质都可出现液体、固体或气体状态。他们的聚集状态是压力和温度的作用。液体通过蒸发转化为气态，固体通过升华转化为气态。将液体或固体从气相分离出来称为冷凝。由于正常的环境空气每立方米大约含有 10 g 水蒸气，所以冷凝的水蒸气都存在于所有表面。
由于水分子的强极性，表面的吸附特别明显。天然纤维，特别是纸，在真空条件下的干燥过程中，含有大量从该过程中逸出的水分。冷凝器用于分离水蒸气。甚至某些金属（镉、锌、镁）在几个 100°C 高温下可大量蒸发。因此，避免在设备施工中使用这些金属。
三、影响现实真空系统的因素——残余气体组成
残余气体组成在超高真空中工作时，重要的是，在开始真空工艺之前或为了监控工艺，需要了解残余气体的组成。水的百分比(m/e = 18) 及其不完整部分 OH (m/e = 17) 在真空室不干净或烘烤不彻底的情况下降会很大。在 N2/O2 之比大约为4:1 时，可通过氮(m/e = 28) 和氧 (m/e = 32) 的峰值来确定泄漏。
可在完全烘烤好的腔室中发现氢 (m/e = 2)、水 (m/e =17 和 18)、一氧化碳 (m/e = 28) 和二氧化碳 (m/e = 44)。
在使用涡轮分子泵时，将不会发现烃。由于高分子量和所得到的高压缩比，他们有效地被排除在腔室之外。
四、影响现实真空系统的因素——排气
为避免不必要的污染，应该使用干燥的氮气代替空气对真空室进行排气。这防止水蒸气和环境空气中的其他可冷凝物（如溶剂蒸汽）沉积（吸附）在容器壁上。
与抽空操作相比，由于解吸过程缓慢，每种冷凝物都会延长后续的排空时间。如果已经使用惰性气体对容器进行排气，只有在需要在容器内部进行必要的工作时才打开容器。由于维修人员动作造成的对流或由于扩散，长时间打开容器将会导致环境空气中的水蒸气进入。
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