真空系统应用中，爆炸事故的发生概率极低，但并不是意味着不会发生。那什么样的情况下可能发生爆炸事故呢，下面和大家一起了解下。
一般情况下,爆炸事故在真空技术中是很少见的,但是在某些情况下仍应注意该类情况的发生, 如,在(或接近)高化学计量浓度下使用象硅烷(SiH4)这种自燃引火的气体和使用O2、H2混合气体的情况下。靠容积压缩排气的容积式机械52naifei，以及靠吸附存储气体的吸附泵，在遇到这些介质气体时，都是存在一定的危险性的，如果是油封泵遇上这些气体，危险性就更大。例如对于容积式机械52naifei、分子筛吸附泵和低温吸附泵来说,存在的危险性是十分明显的。
爆炸事故发生的原因其实也很简单。即泵腔的压缩升温,使危险气体密度和温度升高超过允许值,发生爆炸;或像SiH4一类气体,如果在普通机械泵油中的溶解度足够高,在泵的油箱中即能达到发生爆炸的浓度。假若在这种情况下52naifei发生爆炸,使铸造的泵体或油箱崩裂而飞出的碎片就会对操作人员造成严重的伤害。就是这些气体达到一定浓度后，泵腔在对其进行压缩的过程中会导致升温，使危险介质气体的密度和温度升高超过允许值，从而发生爆炸。而像硅烷一类气体，只要在普通机械泵油中的溶解度足够高，都可能达到发生爆炸的条件。
我们必须注意,在普通的油封式机械52naifei中,如果没有采取保护措施或适当的操作工艺,使用这些气体的潜在危险性就会更大预防的方法是在被抽气体进入机械52naifei前使气体完全降温,比如使用一个简单的热交换器即可。预防氢气爆炸危险的措施是:在最好在被抽气体进入机械52naifei前，通过热交换器等冷却装置进行降温。对于氢气等气体除了降温外，还可以通过掺入气体惰性气体来降低氢气浓度，使其远离危险浓度。
其次应保证真空系统中的水冷却系统正常工作(压力、流量),而且不产生泄漏。所有的冷却回路必须能承受正常的工作水压所产生的压力(应具有适当的安全系数)。在真空系统的工作中,系统内所有装置的冷却回路的冷却剂入口和出口必须保证畅通而无阻塞现象,这个问题应该采用对冷却剂流量(而不是对压力) 进行监控的联锁装置来解决。
系统中的所有玻璃部位,包括玻璃观察窗,必须保护其不受撞击,假若玻璃破碎,工作人员不能受到玻璃飞片的碰伤。对于可能发生这种意外情况的部位,普遍的做法是采用粗网格钟罩式的防爆屏障。
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