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新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX180 使用了独特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和优势
1.占地面积小且重量轻 – 作为可用的 最小工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
2.受专利保护的独特泵机构 – EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
3.超清洁机构 – 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
4.非常可靠 – EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，最大程度地延长了泵的 使用寿命。
5.运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获专利的独特单轴再生 Holweck® 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立通信连接。
EPX180L/EPX180LE技术参数：
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 极限真空 | |
| <1 x 104 mbar | |
| <7.5 x 10-5 Torr | |
| <1 x 10-2 Pa | |
| 预热时间（达到标称性能） | 30 分钟 |
| 入口法兰 | ISO63 |
| 出口法兰 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接头 | 3/8 in 快速 |
| 最小冷却水流速 | 2 lm-1 |
| 冷却水温度 | 15 – 35°C |
| 电源供给 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 极限功率 | 1.4 kW |
| 电机额定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
EPX180L订货号：
EPX180L 干泵 400V，3/8 水接头
A41941014
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接头
A41941132
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
A41941212
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
A41941222
EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接头
A41941312
EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接头
A41941314
EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头
A41941412
EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接头
A41941514
EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
A41941712
EPX180L 干式泵 200V
A41941002
EPX180L 干式泵 200V，3/8 水接头
A41941012
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A41941112
EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接头
A41941024
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A41941142
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A41941152
EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接头
A41941214
EPX180LE系列订货号：
EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 3/8 水接头
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 3/8 水接头
A41943014
EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 1/4 水接头
A41943022
EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 1/4 水接头
A41943024
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A41943112
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
A41943212
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
A41943222
EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接头
A41943224
EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头
A41943412
EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接头
A41943612
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
A41943712
EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接头
A41943714
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接头
A41943722
EPX180“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。
订货号：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A41942112
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
A41942212
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
A41942222
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接头
A41942312
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头
A41942412
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接头
A41942414
EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
A41942712
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接头
A41942714
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接头
A41942014
爱德华52naifei由于产品的多样化，所以每一个型号都有着很大的系列，不同的系列应用在不同的行业有着非常明显的效果，因此，在购买爱德华52naifei产品是需要谨慎选项，欢迎有任何爱德华52naifei需求的客户来电咨询。
