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iGX 600N干式52naifei系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
iGX 600M干泵包括以太网连接功能，允许通过网页查看主要数据，另外还包括一套全面的网络选项，可确保泵持续运转。
iGX 1000N泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
功能和优势：
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本最多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的最快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
IGX600系列参数：
| 峰值速度 | 105 m3h-1 |
| 62 cfm | |
| 1750 l min-1 | |
| 极限压力 | 5.00E-03 mbar |
| 3.75E-03 Torr | |
| 0.50 Pa | |
| 700 Torr 排气压力下的极限 | |
| 极限 | 1 kW |
| AUC（有源设备控制器） | 0.05 kW |
| 水入口* | 1 slm |
| 氮 | 4 或 14 slm |
| 占地面积（不包括排气装置） | 0.20 m2 |
| 重量 | 120 kg |
| 进气口连接 | ISO63 |
| 出口连接 | NW25 |
| 极限噪音 | < 55 dB(A) |
东莞市吾爱奈飞官网设备有限公司专业提供爱德华螺杆52naifeiIGX1000N系列产品及维修配件等等！
应用行业：
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
硅腐蚀
金属腐蚀
这个IGX系列干式螺杆52naifei在半导体行业有着广泛的使用，这种系列产品类型众多，从低抽速到高抽速产品覆盖广泛，使用于不同的设备，提供无污染的绿色真空。
订货系列号：
iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54630958
iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54630959
iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54632958
iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54632959
iGX600N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54631958
iGX600N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54631959
iGX1000N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54681958
iGX1000N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54681959
东莞市吾爱奈飞官网设备有限公司专用维修爱德华螺杆52naifeiIGX600系列产品，同时能上门维修EH2600/EH1200等产品
爱德华螺杆52naifeiIGX600产品功能与优势：
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
