爱德华新型干泵EPX500N/NE系列,全国爱德华新型干泵EPX500N/NE系列代理商，四川德阳爱德华新型干泵EPX500N/NE系列维修保养，爱德华新型干泵EPX500N/NE系列使用寿命，半导体行业爱德华新型干泵EPX500N/NE系列，欢迎来电咨询：13826954831 杨生
东莞市吾爱奈飞官网设备有限公司多年来一直从事进口52naifei的销售和维修，我们主要经营销售的品牌有，莱宝，爱德华，安捷伦，瓦里安，阿特拉斯，阿尔卡特，汉钟等，常年现货供应各种进口52naifei的维修配件，耗材，52naifei油等。
新的紧凑型 EPX500 N/NE高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了独特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
行业应用：
负载锁
传输腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥离
电介质刻蚀
EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX500N/NE性能 参数：
| 峰值速度 | 500 m3h-1 |
| 295 ft3min-1 | |
| 8338 lmin-1 | |
| 极限真空 | |
| <1 x 10-6 mbar | |
| <7 x 10-7 Torr | |
| <1 x 10-4 Pa | |
| 预热时间（达到标称性能） | 30 分钟 |
| 入口法兰 | ISO160 |
| 出口法兰 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 最小冷却水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷却水温度 | 15 – 35°C |
| 氮气供给接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
| 氮气供给压力 | 3 x 105 – 7 x 105 Pa |
| 最低氮纯度 | 99.95% |
| 电源供给 | 200/208 V，50/60 Hz，3 相 |
| 极限功率 | 1.4 kW |
| 电机额定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 45.2 kg |
EPX500N订货号：
EPX500N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
A41952112
EPX500N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
A41952212
EPX500N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
A41952222
EPX500N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接头
A41952414
EPX500N 干泵 208V TEL TIM 1/4 水接头
A41952422
EPX500N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX500N 干式泵 400V，3/8 水接头
A41952014
EPX500NE订货号：
EPX500NE 208V 无 TIM 3/8 水接头
A41954012
EPX500NE 400V 无 TIM 3/8 水接头
A41954014
EPX500NE 208V 无 TIM 1/4 水接头
A41954022
EPX500NE 208V SPI TIM 3/8 水接头
A41954212
EPX500NE 400V SPI TIM 1/4 水接头
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EPX500NE 208V TEL TIM 3/8 水接头
A41954412
EPX500NE 400V TEL TIM 3/8 水接头
A41954414
EPX500NE 400V TEL TIM 1/4 水接头
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EPX500NE 208V LAM TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 208V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 400V MCM TIM 3/8 水接头
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性能优势：
紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 – EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可最大化功率效率。
独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，最大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 – EPX 系列配有最终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。
